Принцип магнитно-силовой микроскопии основан на регистрации взаимодействия между образцом и наноразмерным магнитным зондом. Стандартный магнитный зонд представляет собой АСМ-кантилевер, покрытый тонкой магнитной пленкой. Измерения МСМ выявляют магнитную структуру тонких пленок, объемных образцов, наноструктур и наночастиц с разрешением до нанометрового масштаба. Наилучшее разрешение достигается при использовании специальных кантилеверов с высоким соотношением сторон. Существует два основных метода регистрации сигнала МСМ: измерение статического отклонения кантилевера и динамическое определение амплитуды, фазы и частоты колебаний кантилевера. Стандартные методы MCM доступны во всех моделях СЗМ Интегра.
а) схема управляемого реверсирования намагниченности в выбранной магнитной наночастице: зонд изменяет направление намагниченности частицы, приближаясь к поверхности образца; б) на изображении электронной микроскопии показана матрица дисков с перпендикулярной магнитной анизотропией. Диаметр диска составляет 35 нм, толщина-10 нм, а период структуры-120 Нм; (в) МСМ-изображения, полученные на одной и той же площади в условиях низкого вакуума. Каждое изображение получается после магнитного реверсирования в одном диске по схеме (а), и, наконец, достигается желаемое распределение магнитных моментов.
