Описание Фабэдюкатор

Это учебная/лабораторная платформа для формирования наноструктур, элементов и устройств в различных областях нанотехнологии. Система представляет из себя многоцелевой технологический комплекс для обработки и формирования наноструктур, элементов и полупроводниковых устройств. За счёт уникальной конструкции, комплекс позволяет проводить множество важнейших технологических операций: плазмохимическое травление, нанесение слоя оксидной плёнки, диффузию слоев и многое другое.

Комплекс предназначен для обучения школьников, студентов, а также профильных специалистов углубленным основам микро- и наноэлектроники, фотоники, материаловедения и других перспективных научных дисциплин. Также система может использоваться в лабораторных целях для исследований свойств материалов, измерения параметров технологических процессов и др.

Ключевые особенности

Управление с ПК (MacOs/Win10)
Сменная кварцевая процессная камера
Мнемосхема индикации и управления автоматикой системы

Процесс обучения

Процесс обучения представляет из себя два типа занятий. Первый тип – классические лекции и семинары для изучения теоретических основ. Второй тип – лабораторные работы, т.е. практические занятия на Фабэдюкаторе. Учебный материал направлен на проведение исследований/ разработок в области нанотехнологий, задействуя такие общенаучные дисциплины, как физика, химия, биология, математика, информатика, робототехника и др. Обучающий курс представляет из себя 12 лекций и 4 лабораторных работы общей продолжительностью 30-ть часов. Представляемый учебно- методический материал составлен в кооперации с ведущими российскими техническими вузами, профессорами технических кафедр, а также докторами наук.

Рабочий процесс

Процесс проведения технологических операций состоит из нескольких базовых стадий. Для начала работы задается рабочий режим (диффузия или обработка плазмой.) Далее пользователь определяет необходимые технологические параметры для проведения операции или загружает один из заранее предустановленных рецептов. Рецепт представляет из себя ряд шагов, для каждого из которого задан свой набор параметров: время операции, предельное давление, температура, расход газа и т.п. По команде пользователя начать процесс, происходит проверка интерлоков и базовых систем контроля безопасности, после чего начинается обработка. По окончанию работы системы, производится удаление вредных веществ в деконтаминационный блок и дегазация системы.