Описание Стилусный профилометр серии StylScan

Стилусный профилометр серии StylScan – это высокоточный зондовый измеритель, предназначенный для 2D сканирования образцов с высоким разрешением, а также 2D измерения напряжения в пленках и других тонких образцах. Серия зондовых профилометров StylScan идеально подходит для измерения профиля поверхности полупроводниковых пластин в контактном режиме в микроэлектроники (контроль шероховатости, измерение краевых эффектов и др.). Прибор можно использовать как при работе в исследовательских лабораториях, так и для промышленных предприятий (микроэлектроника, фотовольтаика, тонкопленочные технологии и др.). Устройство подойдёт также для проведения измерения высокоточной механики, анализа изделий после металлобработки и др. задач.

Зондовый профилометр StylScan обладает уникальной функцией бесшовного сканирования поверхности (размер до 55 мм). Автоматизированный столик образцов с вращением позволяет размещать пластины и другие образцы размерами 150 мм, 200 мм или 300 мм. Встроенная высокоточная система контроля нажатия стилуса обеспечивает превосходную линейность и максимально возможное вертикальное разрешение. Ближайшие аналоги StylScan – стилусные профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep и другие.

Стилусный профилометр StylScan также имеет встроенную пассивную систему виброизоляции, которая гарантирует точность измерений в промышленных условиях. Профилометр StylScan поставляется вместе программным обеспечением, позволяющим легко анализировать полученные данные. Есть возможность оснащения системы автозагрузчиком, а также другими промышленными системами для интеграции прибора в производственный комплекс.

Особенности стилусного профилометра серии StylScan:

• Быстрый бесконтактный неразрушающий замер 2D профиля образца.
• Измерение шероховатости образца, кривизны поверхности, толщины пленок, анализ дефектов (микротрещины, сколы, царапины) и др.
• Автоматический моторизированный столик для образцов размером до 300 мм и толщиной до 10 мм.
• Возможность проведения сканирования образца без необходимости прерывания сканирования и сшивки профилей на расстоянии до 55 мм.
• Система постоянного контроля усилия давления стилуса.
• Вертикальное z разрешение вплоть до 0.1 нм, горизонтальное разрешение – до 10 нм.
• Превосходная плоскостность сканирования – менее 20 нм в пределах 2 мм.