Описание Инспекционный микроскоп MX68R

MX68R – это инспекционный микроскоп для исследования кремниевых пластин и фотошаблонов. Это идеальное решение для проведения контроля и анализа в таких сферах, как микроэлектроника, электроника (сборка микрокомпонентов, печатных плат), производство оптоволоконных изделий, и многих других сферах. Микроскоп МX68R используется для проведения неразрушающего контроля, осмотра и анализа структуры чипов, микрокомпонентов, корпусов микроэлементов и многого другого.

Моторизация объективов

MX68R оснащен моторизированной 5-ти позиционной револьверной головкой для установки и смены объективов.

Предметный столик

MX68R оснащен большим предметным столом для работы в проходящем и отраженном свете, поляризацией, ДИК контрастом. Микроскоп оснащается план-полу апохроматическими объективами, обеспечивающими разрешение до 0,2 мкм при увеличении 100х, столиками для кремниевых пластин до 6″ (150 мм) или 8” (200 мм) с диапазоном перемещения 150 мм х 200 мм или 210 мм × 210 мм по XY, с рукояткой для быстрого и высокоточного перемещения.

Осветитель

Эргономическое расположение инструментов фокусировки, настройки интенсивности света и ручки перемещения столика, позволяют оператору максимально сосредоточится на изучении объектов, а тринокулярный тубус, наклоненный под углом 25 градусов позволяет сидеть за микроскопом с прямой спиной.

Микроскоп MX68R оснащен галогенным осветителем 12V/100W с регулировкой интенсивности света, переключателем между светлым и темным полем для отраженного света и светодиодной подсветкой для работы с фотошаблонами в проходящем свете.

Окуляры

Тринокулярный тубус с разделением светового потока 100/0-0/100 между камерой и окулярами с полем зрения до FN25. Позволяет синхронизировать по фокусу изображение на камере и в окулярах не теряя при этом интенсивность на призмах деления светового потока. Поток переключается, на камере не приходится завышать значения светочувствительности.

Объективы

Высококачественные металлографические планахроматические или план-полу апохроматические объективы для работы в светлом/темном поле обладают повышенным рабочим расстоянием и четким изображением по всему полю зрения. Объективы с увеличенным рабочим отрезком позволяют наблюдать декорпусированные объекты, а также кристаллы распаянные на корпус.

ДИК слот

С функцией наблюдения объектов в темном поле, а также поляризационной методикой исследования и ДИК контрастом, оператор может визуализировать царапины, неметаллические включения, трещины и другие дефекты поверхности образца. ДИК призма позволяет проводить визуальный контроль с рельефным контрастом на увеличении 100х, 200х и 500х. Призма универсальная для трех объективов.