Описание Модуль атомно-силовой микроскопии для РЭМ

СЭМ KyKy имеет возможность непрерывного увеличения изображения, при этом большое рабочее расстояние и увеличенная глубина резкости позволяет устанавливать АСМ/СТМ модуль. В данной конфигурации, СЭМ отвечает за выбор основной области, а далее АСМ/СТМ модуль уже производит детальную визуализацию поверхности методами атомносиловой микроскопии. Система может осуществлять прямое наблюдение образца от маркоскопических до микрокосмических размеров, от миллиметров до нанометров, от шероховатой до гладкой поверхности.