Спектральные эллипсометры серии PV - ЭМТИОН
Спектральные эллипсометры серии PV

ООО "Эмтион"

Эллипсометр для анализа солнечных элементов. Спектр 245- 1000 нм

Описание Спектральные эллипсометры серии PV

 

Спектральный эллипсометр серии PV – это высокопроизводительный специализированный спектроскопический эллипсометр для исследований и контроля качества фотоэлектрических солнечных элементов с диапазоном длин волн, охватывающим ультрафиолетовую (УФ) и видимую ближнюю инфракрасную область (БИК). Спектроскопический эллипсометр серии PV основан на высокочувствительном блоке детектирования и программном обеспечении спектроскопического эллипсометра, используемом для для измерения параметров структуры слоя (например, толщины) и физических параметров (например, показателя преломления n, коэффициента экстинкции k или диэлектрических функций ε1 и ε2) однослойных и многослойных нанопленок, особенно для всех видов солнечных элементов. Также он может использоваться для измерения оптических свойств объемных материалов.

 

Cпектроскопический эллипсометр серии PV специально разработан для индустрии фотовольтаики и предназначен для измерения параметров антиотражающего слоя на солнечных элементах. Это означает, что прибор предназначен для анализа и оптимизации характеристик покрытий солнечных элементов, которые имеют решающее значение для повышения поглощения света и эффективности преобразования энергии в фотоэлектрических устройствах.

 

 

Преимущества

  • Быстрое и точное измерение и анализ поляризации;
  • Спектральный диапазон от ультрафиолетового до инфракрасного;
  • Отбор проб в режиме пошагового скан-компенсатора;
  • Широкополосный ахроматический компенсатор;
  • Двухквадрантный режим измерения для устранения системных ошибок;
  • Мощное программное обеспечение контроля и анализа измерений эллипсометрии;
  • Программное обеспечение контроля и анализа эллипсометрии имеет встроенные базы данных материалов, включая информацию о наиболее распространенных образцах.

 

Особенности спектрального эллипсометра серии PV

 

  • Усовершенствованный метод отбора проб с вращающимся компенсатором: диапазон от 0 до 360°, отсутствие мертвой зоны при измерении, устранение влияния деполяризации, вызванной шероховатой поверхностью, на результаты;
  • Высокая скорость измерения полного спектра: типичное измерение полного спектра занимает менее 10 секунд;
  • Чувствительность обнаружения: возможность измерения на атомарном уровне;
  • Встроенная видеокамера: видеокамера для отображения зоны измерения и юстировки системы;
  • Регулировка угла падения: специальная конструкция гониометра системы с возможностью установки нескольких углов падения, повышает гибкость измерений прибора, что особенно важно при работе с ультратонкими образцами или сложными образцами;
  • Измерение коэффициента отражения и пропускания: измерение спектрального коэффициента пропускания и отражения образца;
  • Работа в один клик: после завершения исследования образца можно провести его анализ и оценку с помощью встроенной богатой библиотеке моделей материалов.

 

 

 

Применения

  • Структуры полупроводниковых пленочных структур: диэлектрическая пленка, металлическая пленка, полимер, фоторезист, кремний, пленка PZT, лазерный диод GaN и AlGaN, прозрачные пленки и т. д.;
  • Полупроводниковые периодические наноструктуры: нанорешетки, память с изменением фазового состояния и др.;
  • Исследования новых материалов и новых физических явлений: оптическая анизотропия материалов, электрооптический эффект, упруго-оптический эффект, акустооптический эффект, магнитооптический эффект, оптический эффект вращения, эффект Керра, эффект Фарадея и др.;
  • Плоские дисплеи: TFT, OLED, плазменные панели, гибкие дисплеи и т. д.;
  • Фотогальваника: фотогальванические материалы (такие как Si3N4, Sb2Se3, Sb2S3, CdS и т. д.), отражательная способность, измерение коэффициента экстинкции, измерение толщины пленки и шероховатости поверхности и т. д.;
  • Функциональные покрытия: просветляющие, самоочищающиеся, электрохромные, зеркально-оптические покрытия, а также полимерные, масляные, Al2O3 поверхностные покрытия и обработка;

 

Опции

 

  • Вакуумный насос для крепления легких и тонких образцов.
  • Адсорбационный предметный столик (для работы с гибкими образцами).
  • Предметный столик трех размеров на выбор: 100 мм x 100 мм, 150 мм x 150 мм, 200 мм x 200 мм.
  • Micro spot (для измерения малых областей, диаметр пятна (spot) – 200 мкм).

Технические характеристики спектрального эллипсометра серии PV

Спектральный диапазон

От 245 нм до 1000 нм 

Угол падения

M: Ручной гониометр

40° -90°, шаг 5°, точность лучше 0,02°

Повторяемость измерений

При стандартной толщине пленки Si3N4 80 нм:

Толщина пленки: 0,05 нм

Точность показателя преломления оптической среды: 0,001

Время однократного измерения

Измерение значений Y / D в полном спектре

Типичное время измерения 5-10 секунд

Схема измерения

Поляризатор – Образец – Компенсатор – Поляризатор (PSCA)

Источник света

Источник света широкого спектра

(Ксеноновая лампа / Вольфрамовая галогенная лампа / Дейтериевая лампа)

Пятно измерения

Регулируемое вручную 1-4 мм

Спектральное разрешение

УФ диапазон (-1000нм): ~1.6 нм, 2048 линий суммарно

Предметный столик

Максимальный размер образцов: 230 мм х 230

Регулировка высоты 10 мм

Регулировка 2D в диапазоне ± 4 °

Управляющее ПО

Доступные языки: Английский/Китайский

Разделение уровней доступа

Есть (администратор/оператор)

Измерение в ПО

Автоматическая установка азимута оптического пути;

Ручной/автоматический режим измерений;

Отображение спектра в стандартных единицах энергии или длин волн;

Мониторинг отклика образца, отслеживание изменений Y / D в  режиме реального времени.

Комплектация

Основной блок спектрального эллипсометра

Компьютер

Блок управления (блок электроники)

Программное обеспечение измерения и анализа

Стандартная пластина из нанопленки – 80 нм Si3N4 на кристаллическом кремнии диаметром 4 дюйма

Может быть полезно:

Спектральные эллипсометры серии MUL-S

  Серия MUL-S – это высокоточный, быстродействующий спектроскопический эллипсометр […]

Запрос цены Подробнее
Спектральные эллипсометры серии MUL

  Спектральный эллипсометр серии MUL – это высокоточный и […]

Запрос цены Подробнее
Лазерные эллипсометры серии LS

Лазерный эллипсометр серии LS – это многоугловой лазерный эллипсометр, […]

Запрос цены Подробнее

Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы