Описание Спектральные эллипсометры серии MUL-S

Серия MUL-S – это высокоточный, быстродействующий спектроскопический эллипсометр широкого спектра для научных исследований и промышленных условий, охватывающий диапазон длин волн от УФ до БИК.

В спектроскопическом эллипсометре серии MUL-S используется широкополосный суперахроматический компенсатор, режим выборки для одновременных измерений с помощью двух вращающихся компенсаторов, высокочувствительный блок регистрации спектра и программное обеспечение для анализа спектроскопического эллипсометра для измерения образцов нанопленок, объемных материалов и анизотропных материалов. Серия MUL-S может измерять такие виды образцов материалов, как:

• Параметры структуры слоев (например, толщина пленки) и физические параметры (например, показатель преломления n, коэффициент экстинкции k или диэлектрические функции ε1 и ε2) однослойных и/или многослойных нанопленок.
• Физические параметры объемного материала (например, показатель преломления n, коэффициент экстинкции k или диэлектрические функции ε1 и ε2).
• Измерение спектрального пропускания T и спектрального отражения R образцов с зеркальным покрытием.
• Свойства анизотропных образцов, включая фазовое замедление волновой пластинки, азимут быстрой оси и т.д.
• Извлечение информации о профиле, такой как геометрически критические размеры (CD) и информация об оптических особенностях специальных образцов.

Кроме того, прибор оснащен мощным программным обеспечением для спектроскопической эллипсометрии и анализа ETEGS, которое разработано в виде мастера для упрощения работы и подходит как для новичков, так и для экспертов; программное обеспечение имеет собственную базу данных материалов и предустановленные рецепты для упрощения процесса моделирования

Особенности спектрального эллипсометра серии MUL-S

• Метод вращающейся выборки с двойным компенсатором: все 16 элементов матрицы Мюллера образца могут быть измерены;
• Скорость измерения полного спектра: типовое время измерения занимает менее 10 секунд;
• Чувствительность обнаружения на атомном уровне: измерение на атомарном уровне;
• Видеовыравнивание образца: точное выравнивание образца и простое наблюдение для уменьшения человеческих ошибок;
• Регулировка нескольких углов падения: структура с несколькими углами падения разработана для повышения гибкости прибора, особенно для ультратонких или сложных образцов;
• Измерение отражательной способности/пропускания: измерения спектрального отражения и пропускания образца;
• Управление прибором одним щелчком мыши: при выполнении рутинных операций сложные процессы измерения, моделирования, подгонки и анализа можно завершить одним нажатием кнопки мыши, а обширная библиотека моделей и материалов также облегчает расширенные операционные потребности пользователя.

Применения

• Структуры полупроводниковых пленочных структур: диэлектрическая пленка, металлическая пленка, полимер, фоторезист, кремний, пленка PZT, лазерный диод GaN и AlGaN, прозрачные пленки и т. д.;
• Полупроводниковые периодические наноструктуры: нанорешетки, память с изменением фазового состояния и др.;
• Исследования новых материалов и новых физических явлений: оптическая анизотропия материалов, электрооптический эффект, упруго-оптический эффект, акустооптический эффект, магнитооптический эффект, оптический эффект вращения, эффект Керра, эффект Фарадея и др.;
• Плоские дисплеи: TFT, OLED, плазменные панели, гибкие дисплеи и т. д.;
• Фотогальваника: фотогальванические материалы (такие как Si3N4, Sb2Se3, Sb2S3, CdS и т. д.), отражательная способность, измерение коэффициента экстинкции, измерение толщины пленки и шероховатости поверхности и т. д.;
• функциональные покрытия: просветляющие, самоочищающиеся, электрохромные, зеркально-оптические покрытия, а также полимерные, масляные, Al2O3 поверхностные покрытия и обработка;
• Биологическая и химическая инженерия: органическая пленка, самособирающиеся монослои, белковый субмолекулярный слой, пленочная адсорбция, модифицированные поверхности и т. д.;
• Анализ сыпучих материалов: характеристика показателя преломления n и коэффициента экстинкции k твердых тел (металлов, полупроводников, сред и т. д.) или жидкостей (чистых веществ или примесей), исследования и разработки новых стекол, контроль качества и т. д.

Серия MUL-S имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений от 193 нм до 2500 нм. Системы оснащаются как ручными, так и автоматическими гониометрами. Существуют серии как для R&D целей, так и для промышленного применения (в том числе, анализа полупроводниковых пластин, поликремниевых образцов и др). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.

Опции

• Вакуумный насос для крепления легких и тонких образцов.
• Адсорбационный предметный столик (для работы с гибкими образцами).
• Моторизованный предметный столик.
• Высокотемпературный и низкотемпературный нагревательный стол.
• Предметный столик трех размеров на выбор: 100 мм x 100 мм, 200 мм x 200 мм, 300 мм x 300 мм.
• Micro spot (для измерения малых областей, диаметр пятна (spot) – 180 мкм).
• Детектор неровности поверхности.
• Авторасположение образца в 2D на предметном столике

Спектральные эллипсометр серии MUL-S представлены в трех версиях:

• MUL-S(A) – модель с ручным гониометром.
• MUL-S(M) – модель с автоматическим гониометром.
• MUL-S(F) – модель с фиксированным углом падения