Описание Измеритель толщины пленок EH100

EH100 – это прибор общего назначения для измерения толщины пленки, являющийся экономичным решением в промышленности и научных исследованиях. Прибор управляется одной кнопкой и может измерять толщину прозрачных или полупрозрачных пленок толщиной от нескольких нанометров до сотен микрон.

Принцип работы

Измеритель толщины пленок EH100 работает на основе принципа интерференционной спектроскопии. Свет падает перпендикулярно на поверхность образца, вызывая интерференцию при отражении от границ образца и слоем пленки. Отраженная световая волна регистрируется высокочувствительным спектральным детектором, который анализирует спектральный коэффициент отражения с помощью специализированного программного обеспечения. Это позволяет получить информацию о толщине пленки образца. Также можно извлечь дополнительные физические характеристики пленки, такие как показатель преломления (n), коэффициент экстинкции (k), отражательная способность (R) образца и коэффициент пропускания (T). Спектральный диапазон измерений охватывает в себе излучения от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазонов.

EH100 подходит для рутинных измерений в промышленности и научных исследованиях и может применяться в различных процессах нанесения пленочных покрытий, таких как химико-механическая полировка (Chemical-mechanical polishing – CMP),  химическое осаждение из газовой фазы (Chemical vapor deposition – CVD), вакуумное напыление (physical vapor deposition – PVD, процесс покрытия пленки методом центрифугирования (Spin Coating) и т.д.

Области применения

• Полупроводники: фоторезист, оксид, нитрид и т.д.
• Плоские дисплеи (включая LCD, PDP, OLED): a-Si, n + -a-Si, Gate-SiNx, MgO, AlQ3, ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide и др.
• Оптическое покрытие: твердое покрытие, антибликовое покрытие, покрытие фильтра и т.д.
• Функциональные покрытия: антибликовое, самоочищающееся, электрохромное, масляное, Al2O3 и т.д.
• Высокомолекулярные полимеры: PVA, PET, PP, Npp, MNA, TAC, PR и др.

Особенности

• Быстрое измерение: типовое время измерения составляет менее 1 секунды.
• Обработка в режиме реального времени: отображение результатов измерений в режиме реального времени
• Измерение толщины пленки в широком диапазоне: толщина пленки может измеряться от нескольких нанометров до сотен микрон.
• Простота в эксплуатации: работа с прибором по нажатию одной кнопки.
• Надежность и стабильность: простая и надежная конструкция, применяется повсеместно в промышленности.
• Экономичность: выполнение рутинных измерений толщины пленок без затрат.