Описание Платформа PicoVAC mini

Малогабаритная настольная установка магнетронного напыления PicoVAC mini предназначена для нанесения металлических и углеродсодержащих тонких слоев методом магнетронного распыления на образцы. Система предназначена для напыления металлов на поверхность образцов, в том числе для пробоподготовки образцов для электронной микроскопии (РЭМ пробоподготовка), с целью минимизации накопления статических электрических зарядов во время исследований.

Установка напыления PicoVAC mini может быть использована в исследовательских целях, а также в образовательном процессе в рамках курсов по физике плазмы и вакуумной технике.

Камера установки магнетронного напыления

Принцип работы PicoVAC mini

Принцип работы PicoVac mini основан на магнетронном распылении (нанесение тонких слоев материалов на поверхность образцов). Процесс напыления в PicoVAC mini происходит в несколько этапов:

• Создание вакуума: образец помещается в вакуумную камеру, где создается высокий вакуум для предотвращения загрязнения и обеспечения чистоты процесса.
• Ионизация газа: в камеру вводится инертный газ (обычно аргон), который ионизируется под действием высокого напряжения, создавая плазму.
• Магнетронное распыление: плазма направляется на мишень (материал, который будет наноситься на образец). Под действием магнитного поля ионы газа бомбардируют мишень, выбивая из нее атомы.
• Нанесение слоя: выбитые атомы мишени осаждаются на поверхность образца, образуя тонкий слой. Процесс происходит в условиях высокого вакуума, что обеспечивает высокую чистоту и однородность наносимого слоя.
• Минимизация статических зарядов: в процессе нанесения слоя установка минимизирует накопление статических электрических зарядов, что особенно важно для электронной микроскопии, где статические заряды могут искажать результаты исследований.

Основные преимущества PicoVAC mini

• Компактность и удобство: установка занимает минимум места и легко интегрируется в любую лабораторию или учебное заведение.
• Высокая точность: обеспечивает нанесение тонких слоев с высокой степенью точности и однородности.
• Многофункциональность: подходит для различных типов образцов и материалов, включая металлы и углеродсодержащие соединения.
• Эффективность: минимизирует накопление статических зарядов, что особенно важно для электронной микроскопии.
• Образовательные возможности: идеально подходит для использования в образовательном процессе, особенно в курсах по физике плазмы и вакуумной технике.

Опции установки напыления PicoVAC mini

• Узел ионной обработки образцов позволяет модифицировать, активировать и улучшать смачиваемость поверхности образцов, что улучшает их характеристики и сцепление с наносимыми материалами.
• Водяное охлаждение магнетрона обеспечивает более эффективное охлаждение магнетрона, особенно при высоких нагрузках, что повышает стабильность работы и качество напыления.
• Установка турбомолекулярного насоса позволяет достигать более высокого уровня вакуума, что улучшает качество напыления и минимизирует загрязнение образцов.