SiC/0.75 - ЭМТИОН АСМ, калибровка, мера, расходники для АСМ
SiC/0.75

TipsNano

Калибровочные моноатомные ступени, ось: Z

Описание SiC/0.75

Калибровочный образец на основе 6H-SiC (0001) предназначен для калибровки вертикального перемещения сканера АСМ с интервалом в субнанометр. Простота процесса калибровки обеспечивается практически равномерным распределением высоких (0,75 нм) ступеней по поверхности образца, демонстрирующих химическую и механическую стабильность. Высота шага соответствует половине постоянной решетки кристалла 6H-SiC в направлении [0001].

 

Рис. 1. 3D АСМ изображение 10×10 мкм

     Рис. 2. АСМ изображение 1,6×1,6 мкм

                                       Рис.3 Профиль

Процедура калибровки

 

Для калибровки движения сканера АСМ вдоль оси Z необходимо выполнить следующие операции:

  • Поместите калибровочный образец SiC-0,75 нм на плоскую горизонтальную рабочую область под зондом АСМ.
  • ПОдведите зонд АСМ к поверхности образца и выполните сканирование топографии, используя размер сканирования около 5 мкм (рис. 1). Убедитесь, что на поверхности нет пыли, и выберите для дальнейших измерений площадь около 1,5×1,5 мкм2.
  • После получения качественного АСМ-изображения поверхности используйте программный фильтр для сглаживания изображения так, чтобы был виден каждый отдельный шаг (рис. 2). Выберите область на АСМ-изображении для получения профиля высоты, используя возможности программного обеспечения АСМ. Выберите район с максимальным количеством шагов для лучшей статистики. После получения профиля высоты с пиками, соответствующими каждому шагу, измерьте межпиковые расстояния. Обратите внимание, что расстояния между соседними пиками могут немного отличаться (см. Рис.3), поэтому полезно усреднять расстояния между пиками путем измерения расстояния между дальними пиками и деления измеренного значения на количество включенных межпиковых расстояний (AA на рис. 3). Измените калибровочную константу сканера, пока среднее межпиковое расстояние не станет 0,75 нм.

 

Подходит для атомно-силовых микроскоп в том числе серии NTEGRA, SPECTRA и других.

Магазин расходных материалов можно посетить здесь

Размер чипа – 5х5х0,3 мм3
Среднее расстояние между шагами – 0,15-0,4 мкм
Разориентация поверхности ~ 0,2 °
Высота одного шага 0,75 нм
Средняя шероховатость области между ступенями (террасами) – 0,09 нм

Может быть полезно:

Mica/15×15

Подложка слюды, толщина 0,15мм (0.006″) , размер 15 x […]

Запрос цены Подробнее
TGZ1

Калибровочная решетка TGZ1 для вертикальной калибровки (высота ступенек  20±2нм) […]

Запрос цены Подробнее
Полуконтактные кантилеверы

NSG01 Высокоразрешающие кремниевые АСМ кантилеверы серии NSG01 предназначены для […]

Запрос цены Подробнее

Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы