20 января 2024 года производитель Bioland, базирующийся в Гуанчжоу (Китай), анонсировал первый китайский просвечивающий электронный микроскопа TH-F120. Компания овладела ключевыми технологиями производства электронных пушек для ПЭМ микроскопов, и планирует запустить массовое производство данных систем.
Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) – это микроскоп работающий на базе взаимодействия высокоэнергетичных электронов с тонкими срезами образцов и позволяет получать информацию о топографии, кристаллической структуре образца, дефектах, элементному составу и многом другом. Электроны проходят через образец, и, в зависимости от его структуры и состава, создается изображение, которое фиксируется детектором. Микроскоп TH-F120 может использоваться при проведении исследований в R&D лабораториях, ВУЗах, научных и профильных предприятиях в полупроводниковой промышленности, биологии, материаловедении и др. областях.
Известные мировые бренды, такие как Thermo Fisher в США, занимают большую часть мирового рынка просвечивающих электронных микроскопов. Ранее Китай полностью полагался на импорт просвечивающих электронных микроскопов: в 2022 году страна импортировала около 300 просвечивающих электронных микроскопов, общая стоимость импорта которых превысила 3 миллиарда юаней.
В свете этих событий академик Суй Сенфанг (Sui Senfang) из Китайской академии наук (Chinese Academy of Sciences) отметил, что неспособность Китая самостоятельно разрабатывать аппаратные решения привела к существенным трудностям в инновациях в этой области.
В связи с этой ситуацией в 2016 году академик Сюй Тао (Xu Tao) и научный сотрудник Сунь Фэй (Sun Fei) из лаборатории Bioland в сотрудничестве с Институтом биофизики Китайской академии наук начали исследования в области разработки и создания просвечивающих электронных микроскопов. В 2020 году они организовали в лаборатории Bioland группу для разработки полного цикла просвечивающих электронных микроскопов.
Они успешно разработали ключевые компоненты просвечивающих электронных микроскопов, такие как полевая эмиссионная электронная пушка, включая высоковольтный источник питания на 120 кэВ с низким уровнем пульсаций, 4- и 16-мегапиксельные КМОП-детектор электронов с разделительной призмой, а также гибридные пиксельные детекторы, насчитывающие более одного миллиона пикселей.
 |
Для дальнейшего развития промышленного производства просвечивающих электронных микроскопов совместными усилиями лабораторий Bioland и CIQTEK (является одной из ведущих компаний по производству растровых электронных микроскопов в Китае) была создана компания Guangzhou Huiju Technology Co, Ltd., занимающаяся коммерческим развитием собственно разработанной технологии просвечивающих электронных микроскопов.
 |
| Первый прибор, представленный компанией Guangzhou Huiju Technology Co., Ltd., названный TH-F120 , является дебютной моделью просвечивающего электронного микроскопа и получил свое название от знаменитой китайской горы Тайхань. |
По словам Цао Фэна (Cao Feng), генерального директора Guangzhou Huiju Technology Co., Ltd., представленный миру просвечивающий электронный микроскоп TH-F120 с полевой эмиссией является передовым оборудованием, способным проводить исследования объектов на атомарном уровне. Разрешение микроскопа достигает 0,2 нм, что позволяет анализировать большинство кристаллических образцов. Разработанный китайской командой высоковольтный источник питания с низким уровнем пульсаций и высокой стабильностью позволяет автоматически регулировать напряжение, обеспечивая стабильную эмиссию электронов из электронной пушки. В стандартную конфигурацию ПЭМ TH-F120 входит самостоятельно разработанная высокопиксельная КМОП-камера, отображающая детальные изображения образца даже при низких ускоряющих напряжениях электронной пушки.
«Это всего лишь наш дебютный продукт первого поколения,” – говорит Цао Фэн (Cao Feng). Более высокое напряжение электронов в электронных микроскопах соответствует более высокой энергии электронов и большей проникающей способности. Поэтому Разработчики ПЭМ TH… планирует в будущем разработать следующее поколение ПЭМ микроскопов с полевой эмиссией с ускоряющим напряжением на 200 кэВ.
.png)