Описание TGQ1

Калибровочная решетка  TGQ1 предназначена для:

• одновременной калибровки по Z, X. Y;
• латеральной калибровки сканера;
• определения латеральной нелинейности, гистерезиса, крипа.
• Высота ступеньки – среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ1, сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 15%  от значения, данного в спецификации.

                  АСМ изображение TGQ1 решетки.

Подходит для атомно-силовых микроскоп в том числе серии NTEGRA, SPECTRA и других.

Магазин расходных материалов можно посетить здесь