В 2024 г. китайский производитель РФЭС систем представила на рынок РФЭС анализатор R200D. Полусферический анализатор высокого разрешения R200D – это уникальный анализатор отклоняющего типа нового поколения, предназначенный для анализа энергии электронов, обладающий предельным энергетическим разрешением менее 1 мэВ (является пределом на уровне мировых производителей среди всех коммерческих РФЭС систем).
Лидером в области создания энергетических полусферических XPS анализаторов в последние годы являлась компания Scienta Omicron из Германии. В течение многих лет сторонние производители тщетно пытались разработать конкурентные XPS энергоанализаторы. Флагманской моделью компании Scienta Omicron является модель XPS DA30, отличающаяся высоким предельным энергетическим разрешением 1,8 мэВ.
Китайский производитель, при сотрудничестве с ведущими научно-исследовательскими группами Китая, разработал энергоанализатор RD200D опираясь на собственную технологию на базе ARPES метода (метод фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением или ФЭСУР). Метод анализа энергии, реализованный в анализаторе R200D, получил название 1K-1meV-ARPES. Для реализации технологии 1K-1meV-ARPES китайским производителем были полностью переработаны и произведены на базе собственных решений сверхнизкий температурный столик, а также ультрафиолетовый лазер (диапазон глубокого ультрафиолета).
Сравнение предельных значений энергетического разрешения РФЭС систем DA30 (Scienta Omicron) и R200D
Значение энергий пропускания, эВ | DA30 Scienta Omicron, МэВ | R200D, МэВ | Метод расчета |
2 | 1.8 | 2.0
0.9 |
Интеграл по полному углу
Интеграл в локальной области |
5 | 3.6 | 3.3 | Интеграл по полному углу |
10 | 5.7 | 5.1 | Интеграл по полному углу |
20 | 11.4 | 9.5 | Интеграл по полному углу |
Измерения предельного значения энергии связи электронов энергоанализатора R200D проводилось с помощью эффузионной ячейки Gas Cell. Возбуждение осуществлялось с энергией пропускания анализатора Ep=2 эВ. При этом, интеграл по полному углу энергетического разрешению составил 2 МэВ, а значение интеграла энергетического разрешения в локальной области спектра составило 0,9 МэВ (т.е. менее 1 МэВ, что превышает значения XPS DA30).
Расчет предельных значений энергетического разрешения для РФЭС R200D
![]() |
![]() |
Анализатор R200D также обладает непревзойдённым угловым (импульсным) разрешением на всём диапазоне энергий пропускания. Ниже представлены результаты получения угловых разрешения для трех диапазонов кинетических энергий: диапазон 3-20 эВ (стандартный диапазон энергий), диапазон 0-3 эВ (низкий диапазон энергий), 0,5 эВ (сверхнизкий диапазон энергий). Ep – энергия пропускания, Ek – энергия связи.
Угловые (импульсные) разрешения в зависимости от диапазон энергий пропускания для РФЭС R200D
![]() |
Стандартный диапазон энергий: Angular30, Ep=2eV, Ek=3-20eV |
![]() |
Низкий диапазон энергий: Angular14, Ep=2eV, Ek=0-3eV |
![]() |
Сверхнизкий диапазон энергий: Angular30, Ep=0,5eV, Ek=3-20eV |
![]() |
Угловое разрешение <0,1°: Angular7, Ep=5eV, Ek=10 |
В каталоге ЭМТИОН вы можете ознакомиться с нашей продукцией, в том числе и РФЭС.