| Корреляционная микроскопия предоставляет преимущества визуализации одного и того же объекта с использованием двух разных методов – атомно силовой микроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Корреляция данных с отдельных изображений дает более подробную информацию об образце, который в противном случае был бы слишком сложным для анализа. Технология Корреляционной Зондовой и Электронной Микроскопия КЗЭМ позволяет определять характеристики поверхности области образца одновременно с помощью СЭМ и АСМ и с использованием одной и той же системы координат.
КЗЭМ выполняется с помощью АСМ, который устанавливается на предметный столик ФИП/СЭМ микроскопа, что позволяет устанавливать его в соответствии с предпочтениями пользователя. АСМ при этом может выполнять измерения в наклонном положении, например, для одновременного использования с ФИП. В таких случаях пользователь по достоинству оценит возможность конфигурации АСМ, при которой кантилевер может быть втянут и спрятан в корпусе прибора. Дизайн АСМ продуман до мельчайших деталей и соответствует всем основным конструктивным требованиям и особенностям использования прибора в вакуумной камере электронного микроскопа. Низкий уровень механических вибраций обеспечивает чрезвычайно надежные и повторяемые результаты.
Применение корреляционной АСМ и СЭМ микроскопии:
КЗЭМ имеет множество приложений, от фундаментальных научных исследований до диагностики дефектов конструкционных материалов в промышленности. Основные приложения связаны со случаями, когда обычный СЭМ не дает достаточной информации и требуется дополнительное 3D-изображение с использованием СЗМ. Наличие дополнительных режимов визуализации, таких как: микроскопия магнитных сил, картирование поверхностного потенциала, токов растекания, электро-силовая микроскопия, снятие вольтамперных характеристик, – еще больше расширяет область применения. Уникальная технология КЗЭМ с ее корреляционной визуализацией может применяться в областях с высокими требованиями, где визуализация с использованием обычного СЭМ может предоставить вводящую в заблуждение информацию из-за поверхностного загрязнения, связанного с химическим контрастом, который влияет на топографию поверхности. Фундаментальные исследования в области материаловедения и нанотехнологий требуют детального и полного анализа поверхностей и наноструктур с использованием различных аналитических методов. Непосредственное преимущество очевидно для таких технологий, как FIB и GIS, где структуры формируются непосредственно в СЭМ. Инструмент 3D-анализа для вновь созданных структур очень важен.
Особенности АСМ для корреляционной АСМ и СЭМ микроскопии:
Особенности параметры АСМ для корреляционной АСМ и СЭМ микроскопии:
Поддерживаемые методики для корреляционной АСМ и СЭМ микроскопии
Интеграция АСМ в электронный микроскоп
LiteScope™ специально разработан для интеграции в микроскопы СЭМ по принципу Plug & Play. LiteScope™ просто прикрепляется к предметному столику электронного микроскопа четырьмя винтами. Электрические кабели вставляются в подготовленный вакуумный ввод. LiteScope ™ можно установить или снять менее чем за 5 минут. LiteScope™ легко интегрируется в электронные микроскопы различных производителей. Соответствующие переходники предоставляются вместе с АСМ.
|
.png)