Информация, получаемая в процессе облучения электронами
Электронная микроскопия – это совокупность методов исследования с помощью электронных микроскопов микроструктуры образцов (вплоть до атомного уровня), их локального состава и локализованных на поверхностях или в микрообъёмах тел электрических и магнитных полей.
В процессе сканирования поверхности образца электронным лучом с прецизионной фокусировкой и диаметром порядка нескольких нанометров в подвергшихся воздействию точках в качестве отклика формируются потоки вторичных и отраженных электронов, которые далее детектируются, преобразуются в электрические сигналы, усиливаются и отображаются на дисплее. Сигналы применяются для модуляции интенсивности (яркости) изображения на ЭЛТ или жидкокристаллическом дисплее, а ввиду синхронизации процессов развертки и сканирования электронным лучом достигается соответствие зондируемой точки на образце и позиции на экране. Допускается переключение между морфологическим или композиционным типом формируемого РЭМ-изображения, масштаб которого определяется соотношением размера экрана по горизонтали к диапазону сканирования электронным лучом.
Электронные микроскопы KYKY от компании “Эмтион” – это современные стационарные РЭМ. Модельный ряд микроскопов KYKY представлен четырьмя основными единицами:
- KYKY EM8100 – электронный микроскоп с полевой эмиссией, флагманское решение. Автоматизация всех осей, катод типа Шотки, макс. разрешение 1 нм при 30 кВ в SE режиме и 2.5 нм при 30 кВ в BSE режиме.
- KYKY EM8000 – электронный микроскоп с полевой эмиссией, профессиональное решение. Автоматизация всех осей, катод типа Шотки, макс. разрешение 1.5 нм при 15 кВ в SE режиме и 3 нм при 20 кВ в BSE режиме.
- KYKY EM6900 – электронный микроскоп с термоэмиссией, бюджетное решение. Автоматизация четырех из пяти осей, вольфрамовый нитевой катод, макс. разрешение 3 нм при 30 кВ в SE режиме и 6 нм при 30 кВ в BSE режиме.
- KYKY EM6900-LV – низковакуумный электронный микроскоп с термоэмиссией, бюджетное решение. Автоматизация четырех из пяти осей, вольфрамовый нитевой катод, макс. разрешение 3 нм при 30 кВ в SE режиме при высоком вакууме (HV), а также 6 нм при 30 кВ в BSE режиме при высоком вакууме (HV) и низком вакууме (LV).
Растровые электронные микроскопы KYKY позволяют проводить полноценный анализ образца в различных условиях:
- температуры исследования от -150 °С до 600 °С (модуль растяжения, нагрева и охлаждения для РЭМ KYKY);
- размер образцов до 340 мм в диаметре и высотой до 50 мм (доступно для всех моделей СЭМ KYKY);
- анализ неорганических материалов (KYKY EM8100, KYKY EM8000, KYKY EM6900) и органических образцов (KYKY EM6900-LV);
- формирование структур образца модулем электронно-лучевой литографии РЭМ KYKY, модулем нано-манипулятора РЭМ KYKY, а также АСМ модулем РЭМ KYKY;
- многое другое.
Электронные микроскоп KYKY позволяют получать следующую информацию об исследуемом образце с помощью детекторов EDS, EBSD, WDS, CL:
- топография и профиль образца;
- качественное и количественный элементный анализ, включая анализ примесей;
- данные о структуре;
- данные о кристаллической решетке, включая ориентацию кристалла;
- люминесцентные свойства материалов;
- анализ специфических параметров (поверхностный заряд, токи растекания, карту модули упругости образца и др.)
.png)