Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS*) относится к мощным методам анализа химического состава и электронной структуры широкой номенклатуры материалов, от металлов, полупроводников, диэлектриков и сверхпроводников и до веществ на основе углерода, включая органические полупроводники.
 |
Глубина получаемой информации в методике XPS определяется средней длиной пробега неупруго рассеянных фотоэлектронов (IMFP**) в твердом теле, являющейся функцией кинетической энергии с отчетливым минимумом в области значений 40-100 эВ. В то же время максимальная кинетическая энергия фотоэлектронов в операциях XPS обусловлена фактической энергией фотонов, достигающей 1500 эВ на применяемых установках синхротронного излучения и лабораторном оборудовании. Реализуемой в подобных операциях функции IMFP соответствует информационная глубина 10-25 Å. Другими словами, стандартная технология рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) оптимальна в процессах анализа поверхности. Доступ к глубинным слоям и границам раздела обеспечивается при повышении кинетических параметров электронов за счет возбуждения фотонами с большей энергией. В жёсткой рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (HAXPES***) энергия фотонов находятся в диапазоне 3-15 кэВ, что позволяет увеличить информационную глубину до 100-200 Å.
В силу низких значений сечения фотоионизации при высокой энергии возбуждения требуется особое внимание к факторам, связанным с регистрацией электронов. Необходимо применение модулей детектора с низким уровнем шума, линейным откликом и широким динамическим диапазоном, а также высокостабильные источники питания. Кроме того, объектив анализатора должен обладать значительной пропускной способностью при большом коэффициенте задержки, обеспечивающей высокое разрешение в энергетическом диапазоне жесткого рентгеновского излучения.
На нашем сайте вы можете ознакомиться с доступными к заказу РФЭС решениями (XPS, NAP XPS и другое): оборудование рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии.
*«XPS» (X-ray Photoelectron Spectroscopy) – рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС).
**«IMFP» (Inelastic Mean Free Path) – средняя длина пробега неупруго рассеянных электронов.
***«HAXPES» (Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy) – жёсткая рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
.png)